先日魚屋でワカサギを見つけ、小学生の頃に給食で食べた「ワカサギの唐揚げ」を作りました。ワカサギは今が旬だそうです。子供ながらに、いつか凍った湖の上でワカサギを釣り、その場で揚げて食べたいと思っていたのを思い出しました。温暖化で叶わなくならないうちに実行したいです。
さて、今回はシートシャッターからの発塵について実験しましたので是非ご一読下さい。
【1】【あるある実験レポート】
「シートシャッターからの発塵そして対策まで！」
一般的に、クリーンルーム内での発塵源は様々です。代表的な発塵源としては、人や生産装置があります。その対策方法は様々ですが、対策を検討する前に問題となっている発塵状況を把握（量・種類・粒径等々）することが有効な解決策へのカギとなります。そこで今回は、実際に荷物用エアシャワーに用いられるシートシャッターから、どの程度発塵するか検証し、発塵が確認された後どのような対策を講じたら問題が解消したかをご紹介します。
実験目的
荷物用エアシャワーに搭載しているシートシャッターからの発塵を確認し対策を提案する
使用機器
- パーティクルカウンタ 型式：KC-52
- FFU(ファンフィルターユニット) 型式:CS-CUTE10CF
実験方法
- シートシャッター式エアシャワーの片側の前後をマスカーテープで覆う
- FFU（ファンフィルターユニット）からシートシャッターを挟むように覆ったマスカーテープ内に
給気する空気の逃げ開口（150φ程度）および測定用穴（15φ程度）をあける。 - 測定用穴にパーティクルカウンターを差し込んで、0.3μｍから5μｍゼロ値を確認する。
- １分間に５回シートシャッターを上下し、その間測定穴からパーティクルカウンターで測定（1分間で0.1CF）を実施。
実験結果
測定用穴はモーター付近(A)と、中間地点(B)に開け、それぞれ測定を行った結果モーター付近(A)から、より多くのパーティクルが測定されました。モーター単体かモーターにつけたグリスの過熱発塵かは不明ですが、下記の通りの発塵量となりました。
▼モーター部発塵
㎛/個数
| 発塵量 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 2.0 | 5.0 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| A | モニター付近 | 457 | 254 | 87 | 17 | 0 |
| B | 中間地点 | 45 | 24 | 13 | 6 | 0 |
《発塵対策》
発塵元はシートシャッターのモーター部と確定したためにモーター部上部に小型のFFUを取り付けてシートシャッターBOX内を陰圧化して発塵してもFFUで集塵する構造に改造しました。対策後、モーター部両サイドの発塵測定を実施。結果は以下の通り。
▼改造後の発塵量
| 差圧10Pa | ㎛ | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 2.0 | 5.0 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ① | 1回目 | 個 | 13 | 4 | 2 | 2 | 0 |
| 2回目 | 個 | 3 | 1 | 0 | 0 | 0 | |
| ② | 1回目 | 個 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 2回目 | 個 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
考察
クリーンルームの稼働が始まると同時に装置・人など様々な動作が発生することで必ず発塵が起こり、それがいずれ製品に影響を与える事象を引き起こします。
今回はFFUを使って対策を講じましたが、過去にはCSバルーンを装置の廃熱ファンの出口に取り付けて改善した例があります。対策はその状況に応じて臨機応変に対応することが大事です。
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