暦の上では春とはいえ、厳しい寒さが戻ったり、ふと春のような陽気に包まれたりと、 「三寒四温」を肌で感じる季節となりました。こうして一歩ずつ春が近づいてくると思うと、冷たい風も少しだけ柔らかく感じられるから不思議なものですね。
【1】【CSC検証レポート】粘着マット実験レポート part1
人の動きが少ない現場でも汚れる?連休中の粘着マットの変化
塵埃の持込防止用ツールとして業種を問わず幅広く、導入されている「粘着マット」ですが、 長期休暇や連休前後の交換はどのようにされていますか? 人の動きがなかったり、目視では一見きれいに見えたりしていても、空気中の浮遊塵が落下しゴミの発生源になる場合があります。 今回は弊社のラボルームで3連休期間を活用し、人の動きがない期間にどのくらい粘着マットが汚染されているのかを検証しました。
実験目的
休転日、稼働日に関係なく定期的な交換が必要なのかを検証する。
使用機器・備品
- 粘着マット(CCTクリーンマット|普通粘着|600×900)×2枚
(前室・クリーンルーム各1枚) - サンプル採取板 4インチシリコンウエハ|型式:CS-Si4× 10枚
- 粗大粒子カウンター「RACCAR」|型式:CS-RA004
- クリーンルームライトミニA |型式:CSPV-A
実験方法
- ]前室とクリーンルーム内の各粘着マット上、5点にサンプル採取板を設置し、連休の3日間暴露する。
※クリーンルーム内のFFUは常時稼働

- 連休明けに、粘着マットをクリーンルームライトミニAで照射し目視確認。
及びサンプル採取板回収を回収する。 - ②のサンプル採取板を粗大粒子カウンターで測定。塵埃量を数値化する。
実験結果



考察
今回、連休中で人の出入りがない状態でも前室およびクリーンルーム内で30µm~200µmの塵埃が確認できました。 前室では部屋の出入り口側において測定値が高くなる傾向が見られたことから 、 扉周辺の開口部や空気流動による塵埃の侵入、床面等に堆積した塵埃の再浮遊が発生している可能性も考えられます。 一方クリーンルーム内では、塵埃数が一桁台で比較的均一に分布していることから換気および気流制御、フィルタ機能は概ね適切に機能していると判断できます。 粘着マットの見た目に関しては目視では大きな変化は確認できず、「クリーンルームライトミニA」で照射した際に、微細な塵埃を確認することが出来ました。 肉眼では認識しにくい為、粗大粒子カウンター「RACCAR」を使用することで数値化が可能となりました。 今回の実験では前室出入口付近で多くの塵埃が確認されたことから、 粘着マットは靴底や台車由来の塵埃持ち込み対策として実効性があることが確認できました。
また、粘着マットは人がいなくても空気中の塵埃・気流による落下塵埃を捕集し続ける為、連休中でも粘着面は徐々に汚れ、粘着力が低下します。 見た目に変化はなくても、連休明けに汚れた状態のまま再稼働すると、初動で塵埃を持ち込むリスクが高くなります。 微細な変化でも汚れた粘着マットは捕集性能が低下し、塵埃の再付着・持ち込みを招く為、清浄度維持の妨げになります。 連休明けを含め、稼働再開前に「目視+触感」で粘着マットの表面状態や粘着低下を確認し、 必要に応じて新しい粘着面に更新する必要があると改めて感じました。
シーズシーの粘着マット置き場所の推奨
一番は「エアシャワー前の入口」と「エアシャワー奥の出口(エアシャワーを出た後の1歩目)」の2か所設置です。
エアシャワー内でも良いのですが、エアシャワー内は基本日々清掃を推奨しており、清掃の邪魔になるのが気になります。
粘着マットは、幅広い商品展開があり、帯電防止仕様や青色・白色のカラーバリエーションで ゾーニングや清浄区分の視認性向上にも寄与します。 シーズシーネットでは設置場所に応じたサイズ違いや用途に応じて選択可能な強粘着タイプ・弱粘着タイプもご用意しております。 商品によってはサンプルのご提供も可能ですので今回の実験を参考に前室やクリーンルーム入口など各エリアの条件に合わせた最適な運用にご活用ください。
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